• Українська
  • English

< | >

Список № 9 Том. 62    УФЖ 2017, Том. 62, № 9, стp. 802-813
         Стаття тільки англійською

Неймаш В.Б.1, Мельник В.1, Федоренко Л.Л.2, Шепелявий П.Є.2, Стрільчук В.В.2, Ніколенко А.С.2, Ісаєв М.В.3, Кузьмич A.Г.3

1 Iнститут фiзики НАН України
(Просп. Науки, 46, Київ 03028; e-mail: neimash@gmail.com.)
2 Iнститут фiзики напiвпровiдникiв iм. В.Є. Лашкарьова НАН України
(Просп. Науки, 41, Київ 03028)
3 Київський нацiональний унiверситет iменi Тараса Шевченка, фiзичний факультет
(Вул. Володимирська, 64/13, Київ 01601)

Індукована оловом кристалізація аморфного кремнію при імпульсному лазерному опроміненні

Розділ: Тверде тіло
Оригінал тексту:  Aнглійський

Абстракт: Методом комбiнацiйного розсiювання свiтла дослiджено процеси iндукованої оловом кристалiзацiї аморфного кремнiю в тонкоплiвкових структурах Si–Sn–Si пiд дiєю рiзних видiв iмпульсного лазерного опромiнення. Експериментально визначено та проаналiзовано залежностi розмiрiв та концентрацiї нанокристалiв Si вiд потужностi лазерних iмпульсiв тривалiстю 10 нс та 150 мкс з довжиною хвилi 535 нм та 1070 нм. Показано можливiсть ефективної iндукованої оловом трансформацiї кремнiю iз аморфної фази в кристалiчну за час порядку 10 нс в шарах a–Si товщиною 200 нм пiд дiєю iмпульсу лазерного свiтла. Теоретичний розрахунок просторового i часового розподiлу температур в зонi дiї лазерного променя використано для iнтерпретацiї експериментальних результатiв.

Ключові слова: сонячнi елементи, тонкi плiвки, нанокристали, кремнiй, олово, металом iндукована кристалiзацiя.