• Українська
  • English

< | >

Список № 6 Том. 62    УФЖ 2017, Том. 62, № 6, стp. 523-529
         Стаття тільки англійською

Євтух А.1, Литовченко В.1, Стріха М.1, Курчак А.1, Ілма-зогли O.2, Хартнагел Г.2

1 V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics, Nat. Acad. of Sci. of Ukraine
(41, Prosp. Nauky, Kyiv 03028, Ukraine; e-mail: anatoliy.evtukh@gmail.com)
2 Department of High Frequency Electronics
(Technische Universit¨at Darmstadt, 64283, Darmstadt, Germany)

Провідні наностержні в АПВ плівках, зумовлені трансформацією вуглецю

Розділ: Наносистеми
Оригінал тексту:  Український

Абстракт: Дослiджено вплив алмазоподiбних вуглецевих (АПВ) плi-
вок, осаджених на кремнiєвi вiстря при рiзних умовах на польову емiсiю електронiв. Пiд час осаджування сумiш азоту
в газовiй камерi змiнювалась вiд 0 до 45%. Оцiнки величини
роботи виходу досягали значень, менших вiд 1 еВ. Cпостерiгалось рiзке збiльшення струму емiсiї при великих значеннях
електричного поля i зменшення бар’єра пiсля досягнення передпробiйних умов для АПВ плiвок на кремнiєвих вiстрях.
При великiй густинi струму в результатi локального
нагрiву алмазоподiбна sp3
-фаза перетворюється в провiд-
ну sp2
-фазу. Внаслiдок цього в АПВ плiвках утворюються
провiднi наноструктурованi канали. Дiаметр провiдних наноканалiв було оцiнено зi зменшення бар’єра пiсля досягнення
передпробiйних умов i вiн змiнювався в дiапазонi вiд
5 до 25 нм. Наявнiсть таких наноканалiв в дiелектричнiй
матрицi приводить до локального зростання електричного поля i зменшення бар’єра для електронної польової емiсiї.
Для пояснення експериментальних результатiв польової
емiсiї базуючись на трансформацiї алмазоподiбних плiвок i
утвореннi провiдних наноканалiв, було розраховано змiну
роботи виходу (x0) для вуглецевих структур з включеннями рiзної кiлькостi точкових дефектiв. Показано вплив регiбридизацiї
зв’язкiв у рiзних вуглецевих структурах на роботу виходу (x0). Утворення провiдних наноканалiв в АПВ
плiвках дозволяє значно збiльшити польову емiсiю навiть
для плоских поверхонь без гострiй. Отриманi результати
можуть бути використанi для розробки високоефективних
емiсiйних катодiв.

Ключові слова: