• Українська
  • English

< | >

Список № 2 Том. 60    УФЖ 2015, Том. 60, № 2, стp. 166-170    

    Стаття

Находкiн М.Г., Родiонова Т.В., Сутягiна А.С.

Київський нацiональний унiверситет iменi Тараса Шевченка
(Просп. Академiка Глушкова, 4-г, Київ 03022)

Механiзми еволюцiї поверхнi при рості нелегованих нанокремнієвих плівок

Розділ: Тверде тіло
Оригінал тексту: Український

Абстракт: Методом атомної силової мiкроскопiї дослiджено вплив товщини нелегованих нанокремнiєвих плiвок, що отриманi методом хiмiчного осадження в реакторi зниженого тиску, на характеристики їх поверхневого мiкрорельєфу. Встановлена кореляцiя мiж зростанням розмiрiв неоднорiдностей мiкрорельєфу поверхнi плiвок та змiною типу структури плiвок вiд рiвноосьової до волокнистої. Проаналiзовано iмовiрнi механiзми еволюцiї поверхнi нанокремнiєвих плiвок.

Ключові слова: нанокремнiєвi плiвки, поверхневi неоднорiдностi, рiст зерен, механiзм росту зерен, атомна силова мiкроскопiя.