• Українська
  • English

< | >

Список № 10 Том. 60    УФЖ 2015, Том. 60, № 10, стp. 1056-1062    

Стаття

Смірнов О.Б., Корчовий А.А., Кролевець М.М., Мороженко В.О., Савкіна Р.К., Удовицька Р.С., Сизов Ф.Ф.

Iнститут фiзики напiвпровiдникiв iм. В.Є. Лашкарьова НАН України
(Просп. Науки, 41, Київ 03028; e-mail: alex_tenet@isp.kiev.ua)

Дослідження морфології шарів p-CdHgTe структурованих ковзним опроміненням іонами срібла

Розділ: Наносистеми
Оригінал тексту: український

Абстракт: У роботi вивчається “top–down” процес отримання наноструктурованого шару на поверхнi напiвпровiдникового матерiалу методом iонної iмплантацiї. У результатi опромiнення гетероструктур p-CdxHg1-xTe (x = 0,223)/СdZnTe iонами срiбла з енергiєю 100 еВ на поверхнi зразкiв вiдбувається утворення масиву наноструктур. Зменшення кута падiння iонного пучка до 40˚ приводить до того, що наноструктуювання набуває впорядкованого характеру. При цьому наслiдком стабiлiзацiї активованого iмплантацiєю стану системи є утворення полiфункцiональної системи оксид металу– напiвпровiдник Ag2O–p-CdxHg1-xTe (x = 0,2), що є розмiрно-залежним вiдгуком на опромiнення ковзним опромiненням та, що дозволяє сумiстити функцiональнi властивостi оксиду Ag2O oxide (Eg = 1,41 еВ) та напiвпровiдника (Eg = 0,123 еВ), як основи для створення оптичних перетворювачiв та масивiв з НВЧ ґраток.

Ключові слова: наноструктурований шар, напiвпровiдник CdHgTe, метод iонної iмплантацiї.