• Українська
  • English

< | >

Список № 10 Том. 60     УФЖ 2015, Том. 60, № 10, стp. 1037-1042    

Стаття

Литовченко В.Г.

Iнститут фiзики напiвпровiдникiв iм. В.Є. Лашкарьова НАН України
(Просп. Науки, 41, Київ 03680; e-mail: lvg@isp.kiev.ua

Дослідження рекомбінаційних параметрів сонячного кремнію методом спектроскопії поверхневої фото-ерс

Розділ: Тверде тіло
Оригінал тексту: український

Абстракт: Методом комбiнованої поверхневої спектроскопiї фото-ерс VSC(λ) дослiджено фундаментальнi рекомбiнацiйнi параметри фоточутливого сонячного кремнiєвого матерiалу. Запропонований метод проаналiзовано на прикладi 4-х типових кремнiєвих структур: 1) пластини промислового фоточутливого кремнiю з хiмiчно травленою (реальною) поверхнею; 2) структури з iмплантованою рекомбiнацiйно-активною домiшкою ( Fe+);3) структури SiO2–Si з фронтальним iнверсним каналом; 4) структури з дифузiйним p–n-переходом. Проведено порiвняння з формулами для рiзних актуальних випадкiв, а саме для спектрiв прямих та зворотних фото-ерс VSC, 1/VSC в координатах прямого та оберненого коефiцiєнта поглинання k та 1/k. Розраховано наступнi рекомбiнацiйнi характеристики сонячного кремнiю: швидкостi поверхневої та об’ємної рекомбiнацiй S та Vυ; координацiйна залежнiсть приповерхневих рекомбiнацiйно-активних домiшок та структурних технологiчних домiшок та дефектiв в областi приповерхневого просторового заряду.

Ключові слова: метод комбiнованої поверхневої спектроскопiї фото-ерс, сонячний кремнiй, поверхневий просторовий заряд.