• Українська
  • English

< | >

УФЖ 2015, Том. 60, № 1, стp.64-73
Стаття

Литовченко В.Г., Мельник В.П., Романюк Б.М.

Iнститут фiзики напiвпровiдникiв iм. В.Є. Лашкарьова НАН України
(Просп. Науки, 41, Київ 03028)

Формування нанорозмiрних фаз при акусто-стимульованому іонно-променевому синтезі

Розділ: Тверде тіло
Мова: Українська

Абстракт: Представлено результати дослiджень взаємодiї прискорених iонiв з твердим тiлом при in situ ультразвуковiй обробцi. Запропонований комбiнований метод акусто-стимульованого iонно-променевого легування (синтезу) твердотiльних мiшеней дозволяє ефективно управляти перерозподiлом радiацiйних дефектiв, якi виникають пiд час взаємодiї прискорених частинок з твердим тiлом. Використання цього методу дозволяє впливати на швидкiсть протiкання квазiхiмiчних реакцiй в нанорозмiрних структурах, стимулювати прискорення або уповiльнення процесiв масопереносу i змiнювати умови формування, росту або розпаду фаз у твердотiльних матрицях.

Ключові слова: iонна iмплантацiя, ультразвукове збудження, дефекти, дифузiя, на-нокластери, прихованi шари.