• Українська
  • English

< | >

УФЖ 2015, Том. 60, № 1, стp.48-53
Стаття

Коваль I.П., Лень Ю.А., Находкiн М.Г., Свішенський М.О., Яковенко М.Ю.

Київський нацiональний унiверситет iменi Тараса Шевченка,
факультет радiофiзики, електронiки та комп’ютерних систем
(Просп. Глушкова, 4-г, Київ 03022; e-mail: len@mail.univ.kiev.ua)

Взаємодiя молекулярного кисню з поверхнею Si(001), вкритою моношарами хрому та титану

Розділ: Тверде тіло
Мова: Українська

Абстракт: Подано результати експериментальних дослiджень початкових етапiв взаємодiї молекулярного кисню при експозицiях до 10 7 Л (Ленгмюр) з поверхнею Si(001), вкритою моношарами хрому або титану. На основi експериментальних даних розраховано коефiцiєнт прилипання молекулярного кисню та показано, що на поверхнi Si(001), вкритiй моношаром титану, утворюються не тiльки оксиди кремнiю, а й оксиди титану. Дослiдження проводились за допомогою методу електронної оже-спектроскопiї.

Ключові слова: окислення, хром, титан, кремнiй.