• Українська
  • English

< | >

Список № 12 Том. 59    УФЖ 2015, Том. 59, № 12, стp. 1155-1163    

    Стаття

Жовтянський В.А.1, Анісімова О.В.2

1 Iнститут газу НАН України
(Вул. Дегтярiвська, 39, Київ 03113; e-mail: zhovt@ukr.net)
2 НТУУ “Київський полiтехнiчний iнститут”
(Пр. Перемоги, 37, Київ 03056)

Кінетика плазмохімічних реакцій утворення атомів азоту в жевріючому розряді в суміші азот–аргон

Розділ: Плазма і гази
Оригінал тексту: Український

Абстракт: Розглянуто задачу визначення вмiсту атомарного азоту як активної компоненти, вiдповiдальної за ефективнiсть технологiй модифiкацiї поверхнi металiв у плазмi стацiонарного жеврiючого розряду (ЖР) низького тиску в сумiшi азот–аргон, широко застосовуванiй у цих технологiях. Баланс концентрацiї атомiв азоту включає їхню генерацiю дисоцiацiєю прямим електронним ударом молекулярного азоту та взаємодiєю останнього з аргоном у метастабiльних станах i втрати у дифузiйних процесах з подальшою гетерогенною рекомбiнацiєю на катодi ЖР. Вплив складу сумiшi на продукування атомарного азоту визначався розрахунковим шляхом, а параметри плазми – експериментально, зондовим методом. Функцiя розподiлу електронiв за енергiями визначалась чисельним iнтегруванням рiвняння Больцмана, записаного в двочленному наближеннi для сумiшi молекулярного азоту й аргону.

Ключові слова: жеврiючий розряд, плазмохiмiчнi реакцiї, дифузiйнi процеси, рiвняння Больцмана, зондова дiагностика, атомарний азот.