• Українська
  • English

< | >

Список № 1 Том. 59    УФЖ 2015, Том. 59, № 1, стp. 34-37    

    Стаття

Бєляєв А.Є.1, Клюй М.І.1, Конакова Р.В.1, Лук’янов А.М.1, Свешніков Ю.М.2, Клюй А.М.3

1 Iнститут фiзики напiвпровiдникiв iм. В.Є. Лашкарьова НАН України
(Просп. Науки, 41, Київ 03028; e-mail: klyui@isp.kiev.ua)
2 ЗАО “Елма-Малахiт”
(Зеленоград, Росiя)
3 Київський нацiональний унiверситет iм. Тараса Шевченка
(Просп. Академiка Глушкова, 2, Київ 03022)

Оптичні властивості епітаксійних плівок GaN, що перебували під дією мікрохвильового опромінення

Розділ: Тверде тіло
Оригінал тексту: Український

Абстракт: Дослiджено вплив мiкрохвильових обробок (МХО) на оптичнi властивостi епiтаксiйних плiвок GaN гексагональної модифiкацiї. Для дiагностики рiвня внутрiшнiх механiчних напружень i структурної досконалостi тонкого приповерхневого шару плiвки використовувався метод електровiдбивання (ЕВ). Спектри ЕВ вимiрювалися в областi локалiзацiї перших прямих зона-зонних переходiв. Показано, що внаслiдок МХО в опромiнених плiвках спостерiгається релаксацiя внутрiшнiх механiчних напружень i полiпшення структурної досконалостi приповерхневого шару. Запропоновано механiзм виявлених ефектiв, що враховує резонанснi ефекти i локальний розiгрiв дефектних областей плiвки.

Ключові слова: нiтрид галiю, епiтаксiйна плiвка, електровiдбивання, мiкрохвильова обробка, параметр уширення, внутрiшня деформацiя.